CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備—鍍膜設備—馳誠

CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備——產品信息

馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜機，具備成膜速率高，基片溫度低，膜的粘附性好，可實現大面積鍍膜 

相對于傳統蒸發鍍膜設備，馳誠磁控濺射鍍膜可獲得更為優秀的膜層致密性，均勻性和結合力 

采用最為先進的直流或中頻磁控濺射電源，滿足不同層次客戶需求 

先進的高速低溫濺射技術，極大的擴展了馳誠CCZK-SF磁控設備的應用范圍，對無法受熱或耐熱力產品提供優質的濺射鍍膜解決方案 

采用馳誠創新工藝制造，精益求精，全面通過歐盟CE和ISO國際質量管理體系認證；

腔體結構:    立式前開門，臥式前開門。 

材質用料：腔體材質為SUS304不銹鋼或碳鋼 

真空系統:    擴散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機械泵+維持泵（另有深冷泵系統可供選擇） 

濺射靶材:    中心圓柱靶，平面靶，孿生靶等 

磁控電源:    可配備直流或中頻磁控濺射電源 

轉動系統:    變頻調速，公自轉結合，可根據客戶產品和要求設計 

膜層結構:    單層膜、多層膜 

氣體控制:    氣體流量控制儀集成觸控操作控制 

人機界面:  PLC智能控制+全彩HMI觸摸屏 

操作方式:  邏輯全自動方式、半自動方式、手動方式 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現全自動控制 

報警及保護:異常情況進行報警，并執行相應保護措施。 

其他技術參數： 

極限真空：  5.0×10-4Pa 

抽氣速率：  5.0*10-2≤5min 

水壓流速≥0.2Mpa  3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa； 

備注: 

一般規格: 

      Φ1000mm*H1200mm，Φ1400mm*H1600mm，Φ1200mm*H1500mm， 

      Φ1800mm*H2000mm，  Φ2000mm*H2200mm 

真空室尺寸或設備配置可按客戶產品及特殊工藝要求訂做 

真空鍍膜設備：http://www.zjcczk.com/

鍍膜設備:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備——廠家信息

溫州馳誠真空機械有限公司

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